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CNC尼康顯微鏡1pm高分辨率光干涉

簡要描述：CNC尼康顯微鏡BW-M7000顯微鏡配備大行程為300×300mm的電動XY軸載物臺，以及大行程為200mm的電動Z軸變焦載物臺?？蓽y定半導體、LED、薄膜材料、高分子材料、精密機械加工部件等多種樣品（圖2、圖3）。在測定鉆頭*的表面形狀時，可用夾具保持其直立固定狀態。

  • 產品型號：BW-M7000
  • 廠商性質：其他
  • 更新時間：2023-07-03
  • 訪  問  量：1643
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詳細介紹

價格區間面議產地類別進口
應用領域環保,化工,能源,電子,紡織皮革
　　尼康旗下的NIKON INSTECH公司(總部：東京)將推出高度分辨率達到1pm的光干涉顯微鏡系統“BW-M7000”(圖1)。該系統可高速高精度測定高度范圍從亞納米級到毫米級的表面性狀(材料表面圖案及粗糙度、表面上的微小落差等)。
 
　　表面性狀測定采用尼康自主開發的方式——“FVWLI(Focus Variation with White Light Interferometry)法”。該方法可使對象材料的表面生成干涉紋，高精度決定各像素的焦點位置。通過使用這種方式，可在2.5倍(視野4.4×4.4mm)至100倍(視野111.0×110.0μm)的所有倍率下實現三維算數平均高度(Sa)為0.1nm級別的表面性狀評估。能夠以單一模式測定超平滑表面到粗糙表面，無需更換光學濾光片等部件。另外，在測定膜厚時使用光譜干涉法。能以不到0.1秒的時間測定厚度為1nm～40μm的透明薄膜的厚度。
 
　　可通過程序控制手段實現全自動測定，能夠自動實施對焦、調整樣品的傾斜、判斷是否合格等操作?？勺詣訙y定多個視野，除了材料研發一線之外，還可輕松用于品質管理及*現場。
 
　　CNC尼康顯微鏡BW-M7000顯微鏡配備最大行程為300×300mm的電動XY軸載物臺，以及最大行程為200mm的電動Z軸變焦載物臺?？蓽y定半導體、LED、薄膜材料、高分子材料、精密機械加工部件等多種樣品(圖2、圖3)。在測定鉆頭*的表面形狀時，可用夾具保持其直立固定狀態。
 

 

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